SD-650MH model Yüksek Vakum Magnetron İyon Sputtering Kaplama Cihazı, malzeme bilimi ve örnek hazırlama için yüksek vakum performansı sunar. 0.5 – 5 Pa arasında çalışma basıncı ve 3000W’a kadar düşük güç tüketimi ile verimli kaplamalar yapar. RF, DC ve RF+DC modları ile geniş bir uygulama alanı sağlar ve uzun süreli kaplama işlemleri için ideal bir çözümdür. Hava ve su soğutma sistemleri ile yüksek verimlilik sunar.
Yüksek Vakumlu Magnetron Sputter Kaplama Cihazı SD-650MH – VPI
SD-650MH model Yüksek Vakum Magnetron İyon Sputtering Kaplama Cihazı, malzeme bilimi ve örnek hazırlama uygulamaları için tasarlanmış, güçlü ve güvenilir bir cihazdır. Aşağıda cihazın teknik özellikleri yer almaktadır:
- Vakum Pompası Seti: Cihaz, 50 Hz’de 16 m³/saat (4.4 L/s) ve 60 Hz’de 19.2 m³/saat (5.2 L/s) vakum pompalama hızına sahip olup, hızlı vakum alma sağlar. Ayrıca, turbo moleküler pompa, 300 L/s pompalama hızıyla vakum performansını artırır.
- Vakum Limiti: Cihaz, 5 x 10⁻³ Pa vakum limitine ulaşarak çok yüksek kaliteli kaplama işlemleri yapılmasını sağlar.
- Çalışma Basıncı: 0.5 – 5 Pa arasında bir çalışma basıncı sunar, bu da çok hassas ve kontrollü kaplama imkanı verir.
- Vakum Alma Süresi: 10 Pa’ya kadar vakum alma süresi 10 dakikadan fazla sürmektedir, bu da yüksek vakum performansı ile uzun süreli işlemleri mümkün kılar.
- Vakum Ölçme Aralığı: Atmosferden 10 Pa’ya kadar geniş bir ölçme aralığına sahiptir.
- Gaz Kontrolü: Entegre gaz akış kontrolörü, gaz miktarını hassas bir şekilde ayarlamayı sağlar.
- Kamera Boyutu: 260 mm çapında ve 200 mm yüksekliğinde metal kapalı bir kamera kullanılır, bu da dayanıklılığı artırır.
- Manyetron Hedef Kaynağı: Cu (Bakır) hedefi ile çalışılır, hedef boyutu 50 mm çapında ve 3 mm kalınlığındadır.
- Çalışma Yöntemi: RF, DC ve RF+DC modları ile çalışarak farklı kaplama uygulamalarına olanak tanır.
- Ağırlık/Boyutlar: Cihazın ağırlığı 100 kg’dır, boyutları ise 610 mm uzunluk, 420 mm genişlik ve 490 mm yüksekliktedir.
- Güç Kaynağı: AC 110V 60Hz veya AC 220V 50Hz güç kaynaklarıyla çalışabilir.
- Güç Tüketimi: 3000W’dan daha az güç tüketir, bu da enerji verimliliği sağlar.
- Soğutma Yöntemi: Hava soğutma (pompa için) ve su soğutma (sputtering hedefi için) kullanılır.
Cihazı kişiselleştirmek ya da özelleştirmek istiyorsanız, lütfen bize ulaşın. İhtiyaçlarınıza göre size özel çözümler sunalım!
