SD-2000 III model Üç Hedef İyon Sputtering Kaplama Cihazı, özellikle çoklu hedef kullanımını destekleyen ve yüksek kaliteli kaplama işlemleri sağlayan bir cihazdır. Aşağıda cihazın teknik özellikleri yer almaktadır:

• Vakum Pompası: 50 Hz’de 8 m³/saat (2.2 L/s) ve 60 Hz’de 9.6 m³/saat (2.6 L/s) vakum pompalama hızıyla hızlı vakum alma sağlanır. Cihaz, 2 Pa vakum limitine kadar çalışabilir, böylece yüksek vakum performansı elde edilir.
• Maksimum Sputtering Akımı: 50 mA’lık maksimum sputtering akımı ile verimli kaplama işlemleri yapılabilir.
• Çalışma Basıncı: 20 Pa – 8 Pa aralığında çalışma basıncı sunarak çok hassas kaplamalar yapılmasına olanak tanır.
• Vakum Alma Süresi: 2 Pa vakum seviyesine ulaşma süresi 5 dakikadan daha kısa olup, hızlı vakum alma sağlar.
• Vakum Ölçme Aralığı: Atmosferden 2×10⁻² mbar’a kadar geniş bir vakum ölçme aralığına sahip olup, çeşitli uygulamalarda kullanılabilir.
• Gaz Kontrolü: Entegre gaz akış kontrolörü, gaz akışını hassas bir şekilde düzenler ve bu da işlem kontrolünü iyileştirir.
• Kamera Boyutu: Çizilmeye dayanıklı 150 mm çapında ve 120 mm yüksekliğinde bir quartz cam kullanılır.
• Hedef Kaynağı: 47 mm çapında, Au (Altın) 0.1 mm, Ag (Gümüş) 0.5 mm ve Cu (Bakır) 0.5 mm hedefleriyle çalışılabilir.
• Çalışma Yöntemi: DC ve RF modları ile çalışarak farklı kaplama gereksinimlerine uyum sağlar.
• Ağırlık/Boyutlar: Cihazın ağırlığı 52 kg olup, boyutları 390 mm uzunluk, 340 mm genişlik ve 370 mm yüksekliktedir.
• Güç Kaynağı: AC 110V 60Hz veya AC 220V 50Hz ile çalışabilir.
• Güç Tüketimi: 1500W’dan daha az güç tüketimi sağlar, bu da enerji verimliliği sağlar.
• Rotary Örnek Platformu: A, B ve C pozisyonlarında dönen örnek platformu sayesinde örnekler kolayca döndürülebilir ve her açıdan kaplama yapılabilir.