SD-900C model Magnetron İyon Sputtering ve Termal Buharlaşma Karbon Kaplama Cihazı, her iki kaplama teknolojisini birleştirerek geniş bir uygulama alanı sunar. 2 Pa’ya kadar vakum sağlayabilen cihaz, 100mA sputtering akımı ve 100A buharlaşma akımı ile hassas kaplamalar yapar. Sputtering için su soğutma, buharlaşma için ise hava soğutma sistemi bulunur. Kompakt tasarımı ve düşük enerji tüketimi ile verimli ve ekonomik bir çözüm sunar.
Magnetron Sputter Kaplama Sistemi SD-900C – VPI
SD-900C model Magnetron İyon Sputtering ve Termal Buharlaşma Karbon Kaplama Cihazı, her iki teknolojiyi de bir arada sunarak, farklı kaplama ihtiyaçlarına yüksek hassasiyetle cevap verir. Aşağıda cihazın teknik özellikleri yer almaktadır:
- Vakum Pompası Seti: 50 Hz’de 8 m³/saat (2.2 L/s) ve 60 Hz’de 9.6 m³/saat (2.6 L/s) vakum pompalama hızına sahip olup hızlı vakum alma sağlar.
- Vakum Limiti: 2 Pa’ya kadar vakum sağlayarak hassas kaplama işlemleri yapılmasına olanak tanır.
- Maksimum Sputtering Akımı: 100mA, kaplama sürecini hassas bir şekilde kontrol etmenizi sağlar.
- Maksimum Buharlaşma Akımı: 100A, buharlaşma işlemi için yüksek akım kapasitesine sahiptir.
- Çalışma Basıncı (Sputtering): 20 Pa ile 8 Pa arasında bir çalışma basıncına sahiptir.
- Çalışma Basıncı (Buharlaşma): 6 Pa ile 4 Pa arasında bir çalışma basıncı sunar.
- Vakum Alma Süresi: 2 Pa’ya kadar vakum alma süresi 5 dakikadan daha kısa bir sürede tamamlanabilir.
- Vakum Ölçme Aralığı: Atmosferden 2×10 mbar’a kadar geniş bir ölçme aralığına sahiptir.
- Gaz Kontrolü: Gaz akışını kontrol etmek için entegre bir gaz akış kontrolörü bulunmaktadır.
- Kamera Boyutu: 150 mm çapında ve 120 mm yüksekliğinde çizilmeye dayanıklı kuvars camı kullanılmıştır.
- Manyetron Hedef Kaynağı: Altın (Au), Gümüş (Ag) ve Platin (Pt) hedefleriyle çalışabilir, hedef boyutu 50 mm çapında ve 0.1 mm kalınlığındadır.
- Buharlaşma Hedef Kaynağı: Karbon Kordon hedef malzemesi kullanılarak karbon kaplamalar yapılabilir.
- Çalışma Yöntemi: Manyetron iyon sputtering ve termal buharlaşma yöntemleriyle kaplama yapılır.
- Ağırlık/Boyutlar: Cihazın ağırlığı 55 kg’dır ve boyutları 360 mm uzunluk, 300 mm genişlik ve 380 mm yüksekliktedir.
- Güç Kaynağı: AC 110V 60Hz veya AC 220V 50Hz güç kaynaklarıyla çalışabilir.
- Güç Tüketimi: 2000W’dan daha az güç tüketimi sağlar.
- Soğutma Yöntemi: Sputtering işlemi için su soğutma ve buharlaşma işlemi için hava soğutma sistemi kullanılır.
Cihazı kişiselleştirmek ya da özelleştirmek istiyorsanız, lütfen bize ulaşın. İhtiyaçlarınıza göre size özel çözümler sunalım!
