Magnetron Sputter Kaplama Sistemi SD-900 – VPI

Magnetron Sputter Kaplama Sistemi SD-900 – VPI

SD-900 model İyon Sputtering Kaplama Cihazı, 2 Pa’ya kadar vakum sağlayarak kaliteli ve homojen kaplamalar yapılmasına olanak tanır. Altın, gümüş ve platin hedeflerle çalışabilen cihaz, 0-20 mA arasında ayarlanabilir sputtering akımı sunar. Kompakt boyutları, düşük enerji tüketimi ve hava soğutma sistemiyle verimli ve ekonomik bir çözüm sunar.

SD-900 model İyon Sputtering Kaplama Cihazı, yüksek performanslı vakum sistemi ve gelişmiş sputtering teknolojisiyle, hassas kaplama işlemleri için ideal bir çözümdür. Aşağıda cihazın teknik özellikleri yer almaktadır:

  • Vakum Pompası Seti: 50 Hz’de 8 m³/saat (2.2 L/s) ve 60 Hz’de 9.6 m³/saat (2.6 L/s) vakum pompalama hızına sahiptir.
  • Vakum Limiti: Cihaz, 2 Pa’ya kadar vakum sağlayarak çok hassas kaplama işlemleri yapılmasına olanak tanır.
  • Maksimum Sputtering Akımı: 0-20 mA arası maksimum sputtering akımı sunar, böylece kaplama süreci daha hassas bir şekilde kontrol edilebilir.
  • Çalışma Basıncı: Cihaz, 30 Pa ile 7 Pa arasında bir çalışma basıncına sahiptir.
  • Vakum Alma Süresi: 2 Pa’ya kadar vakum alma süresi 5 dakikadan daha kısa bir sürede tamamlanabilir.
  • Vakum Ölçme Aralığı: Atmosferden 2×10 mbar’a kadar geniş bir ölçme aralığına sahiptir, bu da çeşitli kaplama işlemleri için geniş bir kullanım alanı sağlar.
  • Gaz Kontrolü: Gaz akışını kontrol etmek için entegre bir gaz akış kontrolörü bulunmaktadır.
  • Kamera Boyutu: Çizilmeye dayanıklı 150 mm çapında ve 120 mm yüksekliğinde kuvars camı kullanılmıştır.
  • Manyetron Hedef Kaynağı: Altın (Au), Gümüş (Ag), ve Platin (Pt) gibi hedeflerle çalışılabilir, hedef boyutu 50 mm çapında ve 0.1 mm kalınlığındadır.
  • Çalışma Yöntemi: Manyetron iyon sputtering yöntemiyle kaplama yapılır.
  • Ağırlık/Boyutlar: Cihazın ağırlığı 45 kg’dır, boyutları ise 360 mm uzunluk, 300 mm genişlik ve 380 mm yüksekliktedir.
  • Güç Kaynağı: AC 110V 60Hz veya AC 220V 50Hz güç kaynaklarıyla çalışabilir.
  • Güç Tüketimi: 1500W’dan daha az güç tüketimi sağlar.
  • Soğutma Yöntemi: Hava soğutma sistemi, cihazın uzun süreli çalışmalarda verimli olmasını sağlar.

Cihazı kişiselleştirmek ya da özelleştirmek istiyorsanız, lütfen bize ulaşın. İhtiyaçlarınıza göre size özel çözümler sunalım!