SD-650MHG model Yüksek Vakum Magnetron Sputtering Kaplama Cihazı, özellikle yüksek kaliteli kaplama işlemleri için tasarlanmış bir cihazdır. Bu cihaz, hızlı vakum alma, hassas gaz kontrolü ve geniş bir vakum ölçme aralığı sunarak verimli bir kaplama deneyimi sağlar. Aşağıda cihazın teknik özellikleri bulunmaktadır:

• Vakum Pompası Seti: Cihaz, 50 Hz’de 16 m³/saat (4.4 L/s) ve 60 Hz’de 19.2 m³/saat (5.2 L/s) vakum pompalama hızına sahip olup, hızlı vakum alma sağlar. Ayrıca, turbo moleküler pompa, 300 L/s pompalama hızıyla vakum performansını artırır.
• Vakum Limiti: Cihaz, 5 x 10⁻³ Pa vakum limitine kadar ulaşabilir, bu da çok yüksek hassasiyetli kaplama işlemleri yapılmasını mümkün kılar.
• Çalışma Basıncı: 0.5 – 5 Pa arasında bir çalışma basıncı sunarak kaplama işlemleri için ideal bir ortam oluşturur.
• Vakum Alma Süresi: 10 Pa’ya kadar vakum alma süresi 10 dakikadan fazla sürmektedir, bu da uzun süreli ve yüksek kaliteli işlemleri mümkün kılar.
• Vakum Ölçme Aralığı: Atmosferden 10 Pa’ya kadar geniş bir ölçme aralığına sahiptir.
• Gaz Kontrolü: Entegre gaz akış kontrolörü ile gaz miktarı hassas bir şekilde ayarlanabilir.
• Kamera Boyutu: 260 mm çapında ve 200 mm yüksekliğinde metal bir kamera kullanılır, bu da dayanıklılığı artırır.
• Manyetron Hedef Kaynağı: Cu (Bakır) hedefi ile çalışılır, hedef boyutu 50 mm çapında ve 3 mm kalınlığındadır. Zayıf manyetik maddelerle de uyumludur.
• Çalışma Yöntemi: DC ve RF modları ile çalışarak farklı kaplama uygulamalarına olanak tanır.
• Ağırlık/Boyutlar: Cihazın ağırlığı 100 kg’dır, boyutları ise 610 mm uzunluk, 420 mm genişlik ve 490 mm yüksekliktedir.
• Güç Kaynağı: AC 110V 60Hz veya AC 220V 50Hz güç kaynaklarıyla çalışabilir.
• Güç Tüketimi: 3000W’dan daha az güç tüketir, bu da enerji verimliliği sağlar.
• Soğutma Yöntemi: Hava soğutma (pompa için) ve su soğutma (sputtering hedefi için) kullanılır.